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當前大量使用的多級泵,即使設計得較好,相向運動(dòng)的零件間配合精度即使很高。在多級泵達到極限真空時(shí),也難以阻止氣體由低真空端向入口端“突破”返流。另外,由于多級泵在設計制造及裝配中不可避免地存在有害空間,這也降低多級泵的極限真空度。油封式多級泵就是用油將相向運動(dòng)的零部件和排氣閥零件間密封起來(lái);將有害空間充填,使得高壓氣體反“突破”的機會(huì )少得多,密封性能也就好得多,從而使多級泵能達到較高的真空度。